超純水是接近高純度的水，即除了氫離子與氧離子，幾乎沒(méi)有任何其他電解質(zhì)存在的水中。
       在制造處理過(guò)程后能盡可能將溶在水中或在水中散播的各種雜質(zhì)除去，包含像是有機物、細菌、塵埃、氧化物等任何物質(zhì)。
       根據半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，隨著(zhù)制程的開(kāi)發(fā)，使得晶圓線(xiàn)路更加細致，所使用的清洗用水，也需要更加提升。
       為了介于以往的純水名稱(chēng)，故命名為超純水。電阻率約達到18.2MΩ-cm，幾乎不能導電，依據電子行業(yè)超純水標準，還有很多其他的指標要求。
       超純水主要使用在晶圓洗凈，將經(jīng)過(guò)蝕刻之晶圓進(jìn)行洗凈，去除晶圓表面殘留氫氟酸等溶液。經(jīng)由多重過(guò)濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線(xiàn)，超濾，奈米濾，離子吸附過(guò)濾所產(chǎn)生超純水。
       超純水是為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當的超臨界精細技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，其電阻率大于18 MΩ*cm，或接近18.3 MΩ*cm極限值（25℃）。簡(jiǎn)單得說(shuō)就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水 。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經(jīng)過(guò)串聯(lián)的混合型交換樹(shù)脂柱對二次反滲水進(jìn)行處理，但是交換樹(shù)脂的再生不便，質(zhì)量難以保證。